紫外光刻機(jī)是半導(dǎo)體工業(yè)和微納米技術(shù)領(lǐng)域中重要的裝備,它在芯片制造過(guò)程中具有重要的地位。紫外光刻機(jī)能夠以更快的速度生產(chǎn)更加復(fù)雜的芯片,并且大的提高了芯片的性能。下面將介紹紫外光刻機(jī)的工作原理、特點(diǎn)以及應(yīng)用領(lǐng)域。
該光刻機(jī)可廣泛用于MEMS和光電子,例如LED生產(chǎn)。它經(jīng)過(guò)特殊設(shè)計(jì),方便處理各種非標(biāo)準(zhǔn)基片、例如混合、高頻元件和易碎的***族材料,包括砷化鎵和磷化銦。而且該設(shè)備可通過(guò)選配升級(jí)套件,實(shí)現(xiàn)紫外納米壓印光刻。它具有以下亮點(diǎn):高分辨率掩模對(duì)準(zhǔn)光刻,特征尺寸優(yōu)于0.5微米、裝配單視場(chǎng)顯微鏡或分視場(chǎng)顯微鏡,實(shí)現(xiàn)快速準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)、針對(duì)厚膠工藝進(jìn)行優(yōu)化的高分辨光學(xué)系統(tǒng)、可選配通用光學(xué)器件,在不同波長(zhǎng)間進(jìn)行快速切換等。
根據(jù)光源類型不同,光刻機(jī)主要分為紫外光刻機(jī)、深紫外光刻機(jī)和極紫外光刻機(jī)。其中,紫外光刻機(jī)是應(yīng)用廣泛的一種,主要用于生產(chǎn)90納米及以上幾何尺寸的芯片;深紫外光刻機(jī)可制造更加好的高密度芯片,其分辨率達(dá)到10納米左右;而相比之下,極紫外光刻機(jī)則具有更高分辨率,可制造出基于7納米及以下幾何尺寸的芯片,但目前管理和使用成本不低。
以下是紫外光刻機(jī)的主要組成部分:
1. 光源:紫外光刻機(jī)使用紫外光作為曝光光源。
2. 光刻膠:光刻膠是一種特殊的材料,其在紫外光的照射下會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而形成所需的圖案。
3. 掩模:掩模是用來(lái)遮擋部分紫外光的裝置,從而使得只有部分光刻膠受到曝光。
4. 透鏡:透鏡用來(lái)聚焦紫外光,從而使得光刻膠上的圖案更加清晰。
5. 運(yùn)動(dòng)系統(tǒng):運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)用來(lái)準(zhǔn)確地控制掩模和光刻膠的位置,從而使得曝光更加準(zhǔn)確。